集成電路

一般潔凈度在100級到1000級，溫濕度控制嚴格，需要很高的潔凈工藝； 由于成電路工藝生產技術的特殊性，它對生產環境，如潔凈度、溫度、濕度都有嚴格的要求，這直接關系到晶圓產品的質量和壽命，必須嚴格控制在要求范圍之 內。在工程設計中，暖通空調專業擔負著保證生產區潔凈度等級和溫度、濕度要求的使命。

潔凈室系統采用新風集中處理機組(MAU)+風機過濾單元(FFU)+干式冷盤管(DDC)的方式，其空氣處理過程為：循環風經設置在一層的干式冷卻盤管冷卻后，進入上部送風靜壓箱，與處理后的新風混合，經FFU加壓、過濾后送入生產區。

過濾系統如何選擇 
  百級潔凈室不同于千級以下潔凈室，百級為層流潔凈室，一般采用MAU+DDC+FFU形式；即新風機組+干盤管+風機過濾單元形式；
維護結構如何選擇
1.百級潔凈室墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板，陰角全部選用圓弧連接；百級一般采用二次隔墻及二次吊頂形式做回風技術夾道；
2.地面：百級一般采用架空地板敷設作為回風夾道；方便氣流從頂部垂直吹下；’
凈化參數
換氣次數：1000級≥60次；100級：過濾器滿布率不低于80%。
壓差：主車間對相鄰房間≥10Pa平均風速：00級0.3－0.5m/s；
溫度 冬季>16℃；夏季 <26℃；波動±2℃。 
濕度45－65%；噪聲≤65dB（A）；新風補充量是總送風量的10%－30%；照度：不低于350LX；

一般操作流程

客戶案例

客戶名稱：南京熊貓電子

凈化面積：1500平方米

集成電路

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