凈化工程設計潔凈車間內的空氣分配設備（通常是吊頂過濾器）被設計成“噴淋式”，用來提供統一的、潔凈的已過濾的空氣。向房間補給的空氣量，讓人想起與普通的淋浴噴頭相反的消防。美國聯邦標準209E、日本標準JIS B9920和ISO 標準14644-1的標題是：潔凈室外和相關控制環境——*部分：清潔空氣的分級。這些標準提供了潔凈室參數、分級和檢測方法的指導方針，但并未說明如何經濟有效地達到要求。這是因為每種生產過程和潔凈室外的要求是不同的，因此，可以采用不同的再循環空氣量，達到預期的環境要求。

房間內污染物的比率和實際微粒產生情況，是影響潔凈室空氣換氣次數的主要因素。在生產過程中，不對其他因素產生任何影響的情況下，清除微粒的速度是非常重要的。其他可能影響再循環空氣數量的因素是：房間的結構、設備的位置、設備表面溫度、空氣對流、氣流類型（單向通過敏感區或者通過全空間）、操作空間和規章、使用的材料和化學藥品等。

潔凈車間可能需要在靜態下進行鑒定，在工況下進行鑒定，對生產過程進行確認或者cGMP認證。由綜合服務管理部制定的聯邦標準209（e），建議100或90fpm。然而有可能建立一個空氣流動速度較低，但比100級潔凈度更高的潔凈室。實際上，已經有潔凈室的空氣流動速度是45cfm/平方英尺。

新風處理空調箱[Make-up AHUs]。典型的新風處理空調箱（初級AHUs）為循環風空調箱（二級AHUs）提供必需的新風。新風由離心排風機、軸流或plug風機加上過濾器、預熱和再熱用熱水盤管、冷卻和除濕使用的冷凍水盤管、蒸汽和絕熱加濕器等組成。附件和差異包括靜電空氣混合器、蒸汽預熱盤管、超聲波加濕器、鹽水、除濕用的直接交換[Dx]或乙二醇低溫冷凍盤管、VOC吸附過濾器、噪聲衰減器，VFP（變頻）驅動等。

新風處理空調箱通道是將空氣注入集管，再通過支管系統給循環風空調箱提供新風。在初級和二級風管上進行空氣測量，并調節送風機、VFD或進口風閥以便恒定風量。Magnahelic講量器臨測安裝在各個空調箱內HEPA過濾器布袋過濾器和預過濾器的荷載。有吊頂風機過濾器的情況下，新風處理空調箱出來的空氣進入循環風空調箱再送出。

循環風空調箱（Recirculation AHUs）。典型的循環風空調箱由高效離心式風機、過濾器和濕熱（干）冷盤管組成。附加和差異包括用于局部溫度控制的再熱盤管、用于局部濕度控制的蒸汽或超聲波加濕器、風量恒定控制箱。這種采用Whisper-Air and Compac Space 風機系統的方式提供了一種節約成本和充分使用能源的選擇。

多重循環風空調箱通過送風管，再經過ULPA過濾器或HEPA過濾器，將空氣送入潔凈室，在潔凈度等級為10級和1級的潔凈間的吊頂上，這些過濾器通常是*覆蓋。垂直單向氣流向下通過潔凈間，穿過帶孔的架空地板磚進入地板下面的回風空間，再通過垂直回風夾道向上進入吊頂回風靜壓箱。然后 ，空氣再次進入循環風空調箱，以上的空氣循環再次重復。如果是使用吊頂風機過濾器，在風機過濾器上面的吊頂空間時，可以安裝水或直接交換冷卻風機盤管實現表面冷卻。

凈化工程設計