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快速退火爐

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產品型號

品       牌

廠商性質經銷商

所  在  地滁州市

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更新時間：2024-10-15 07:43:09瀏覽次數：85次

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產品簡介

概述：AST2800是一款用高強度可見光加熱單片wafer或樣片的快速退火系統，其工藝時間短，控溫精度高。工藝穩定時間可設置到9999秒，一般推薦1-600秒。

詳細介紹

快速退火爐 

 

 

圖片材料：

 

概述：

  AST2800是一款用高強度可見光加熱單片wafer或樣片的快速退火系統，其工藝時間短，控溫精度高。工藝穩定時間可設置到9999秒，一般推薦1-600秒。

   相對于傳統的爐管式退火系統，其的水冷腔體設計、的溫度控制技術確保了的溫度均勻性。工藝時，wafer放置在獨立的石英腔體內的石英載盤上，通機械手自動傳偏到位置，上下兩排燈管對wafer進行加熱。允許工程師自由創建、編輯工藝菜單,通過調整時間、溫度、工藝氣體流量等參數，控制工藝流程。

  快速退火系統應用:離子注入激活、多晶硅退火、氧化回流、硅化物形成、歐姆接觸合金、 氧化物、氮化物生長等工藝。
 


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