chiller溫控器冰水機HRS090制冷劑充注服務

主要應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度控制，具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。在半導體制作過程/激光加工機/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多。

半導體冷卻裝置Chiller適用于半導體、元器件、芯片等高低溫溫度模擬測試，這是一種生產(chǎn)過程中的控溫設備。半導體冷卻裝置Chiller采用了PID控制算法和自適應的控溫技術，主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機等組成。

chiller溫控器冰水機HRS090制冷劑充注服務

制冷劑充注，水泵維修，系統(tǒng)檢漏，改造翻新等服務

chiller溫控器冰水機HRS090制冷劑充注服務

泵體、管路發(fā)生的泄露、流量小、冷卻力、加熱力的下降，溫度無法調節(jié)等，按照客戶遇到問題時提出的要求，進行維修。
1. 水泵泵體，卡住，異響，振動大
2. 冷凍機，無法制冷，管道堵塞，跳電
3. 維修熱交換器、加熱器

4.制冷劑充注，水泵維修，系統(tǒng)檢漏，改造翻新等服務

chiller溫控器冰水機HRS090制冷劑充注服務

應用于半導體行業(yè)蝕刻裝置，CMP（工藝機械拋光）， 實驗室精密裝置、 高精度測試儀器、醫(yī)美設備、固態(tài)激光器、模具溫控等。

變頻控制，智能PID控制
預測控制及自適應控制
模塊化功能定制，高效節(jié)能
兩級閉環(huán)節(jié)能控制

chiller溫控器冰水機HRS090制冷劑充注服務 應用領域

激光加工、印刷設備、清潔設備、焊接設備、高分析儀、LCD制造設備、模具溫調、高頻感應加熱設備、X射線（數(shù)字式）設備等

高低溫液體冷卻機Chiller

溫控精度（空載時）±0.05℃

觸摸屏操作，人機交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時運轉、液面降低、停電復位、防凍功能

溫度波動小

占地面積小、保護裝置

快速升溫/降溫、提高生產(chǎn)效率、降低運營成本和保障生產(chǎn)

運行穩(wěn)定、準確控溫